特种气体、大宗气体都是半导体生产过程中不可或缺的。半导体用特种气体有大量易燃易爆、剧毒、腐蚀性气体，例如硅烷SiH4，磷烷PH3，四氟化碳CF4，氯气Cl2等。半针对腐蚀性、毒性、燃烧性的气体，通常设计将钢瓶置于特气柜(Gas Cabinet)内，再通过管道将气体供应至现场附近的阀门箱(VMB, Valve Manifold Box)，而后再进入制程机台的使用点(POU, Point of Use)，于进入机台腔体之前，会有独立的气体控制盘(GB, Gas Box)与制程控制模块联机，以质流流量计控制器(MFC, Mass Flow Controller)进行流量之控制与进气的混合比例控制，输送一般采用EP级不锈钢管道（危险气体采用双套管），优获科技为您提供设计，选型，制造，安装，测试，调试的整体解决方案。
