特气柜的设计和制造主要是为了安全存储和操作高纯剧毒，可燃，自燃，腐蚀性，氧化性，易反应的钢瓶气体。该设备能够保证在更换钢瓶或有毒气体泄漏时操作人员的人身安全。气柜必须正确连接在连续工作的排风系统中，以提供安全的操作环境。而柜体在钢瓶，钢瓶接口，钢瓶盘管，气体面板泄漏时提供有效的隔离和保护。排风系统能够将泄漏的毒气从柜体排放至安全的尾气处理系统中。

气柜规体由2毫米的钢板焊接而成，表面涂有抗腐蚀的聚酯涂料。排风口用于连接客户的排风系统。气柜门由2毫米的钢板及4.0毫米钢丝网安全玻璃窗组装而成。可燃性气体可选消防喷淋头,68℃时自动工作喷水。柜体内的钢瓶靠架用于固定钢瓶。可选的秤台用于监测液化性气体的重量。

电子特气柜的主要目的是安全输送特气；重所周知，操作特气的主要要求之一是保证压力

和纯度，压力通过调压压阀来实现；纯度可通过系统的高气密性避免无外部污染和通过过滤

器过滤气体中的微粒来实现。主要要求之二是安全，而特气钢瓶操作的主要危险在于

（1) 换瓶前钢瓶阀门未关死或者管路中残留有危害性气体；

（2)换瓶后钢瓶接头（猪尾巴管接头）未连接好，导致开瓶时气体溢出。

1.气动阀气源：一般以GN2来进行控制，不建议使用CDA（clean dry air），因GN2的供应系统比较稳定，不会因停电或运转设备故障而中断，此气源是用于自动或半自动的气动阀件开关。

2. 手动控制阀：主要用于第二道防护作为第二次确认用或检修，一般于供应气体的出口端。

3. 逆止阀(单向阀)：防止特气倒灌到清洁用的PN2（高纯氮）系统和抽气用的GN2（普氮）系统。

4. 调压阀：用于调整供应系统的供应压力。

5. 压力传感器：是防护系统中非常重要的零件，透过它我们可以判断管路是否泄漏，相关阀件是否正常开关，同时亦可检知钢瓶的剩余量。

6. 真空产生器：利用GN2快速流动产生吸力，将管路中的气体抽出，以到达抽气的目的。

7. 气体过滤器：一般在钢瓶出口端会装比较粗的过滤器，在出端会装比较细的过滤器，有效过滤气体中的颗粒，过滤器较不易吹扫,所以一般不建议装在常吹扫的管路中。

8. 过流量侦测器：对管路异常流量进行侦测，若是超过设定值，即判断管路上可能大量泄漏，进而关闭供应系统停止供气。

9.限流孔：是一种简易又有效的过流量控制装置，用以限制大量气体流过，一般使用于出口处，其主要功用是避免大量的特殊气体排出，区域性的废气处理机无法处理的情况发生。