电子特气，以下简称特气，是VLSI、液晶显示设备、半导体发光器件和半导体材料的制造工艺中必不可少的基本支撑材料。其纯度和清洁度直接影响着光电产品的质量、微电子元件的质量、集成度的具体技术指标和良率，从根本上限制了电路和器件的准确性。特气管路系统是为保证特气纯度和安全稳定输送的供气系统。
特种气体工艺系统的硬件需求
1、储存、供气的气瓶柜（GC特气柜）、气瓶架（GR特气架）。
2、气体分配用阀门箱（VMB）、阀门盘（VMP）。
3、辅助氮气吹扫系统。
4、尾气处理设备（Local Scrubber）。
在线显示：通过二次仪表显示气体含量并能设定上下限报警值，通过压力表显示值观察得到各个气源钢瓶内的压力。
2）换装钢瓶: 在换装钢瓶的同时相应的阀门按钮控制开关，同时设备与气体泄露侦测器，气体压力传感器联动，时刻监视设备的状态，通过电信号第一时间发出设备异常报警信号及相应应急开关阀门的自动指令。
3）维修吹扫：设备定期检修吹扫的同时侦测器时刻运行，发现泄露点后立即迅速切断相应设备阀门，若是气体储藏室发生气瓶自身泄露则通过柜体的排风系统排除室外。
4）手动模式：当设备异常时自动操作无法正常运行，或特殊情况必须手动开启气动阀时，既可采用手动模式强制阀的开闭。（须经过2~3课时进行专业培训的操作人员方可进行此操作）
5）正/负压保压测漏：通过对设备管路保正压的方式，观察是否有泄漏的情形。（此阶段于更换钢瓶后针对钢瓶接头的衔接的测漏）保负压方式（此阶段于拆换旧瓶时针对钢瓶阀是否确实关断的衔接的侦测）。
